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上海贺东电子材料申请抗等离子腐蚀涂层缺陷修复方法专利,解决由涂层缺陷导致刻蚀制程工艺稳定性差的一系列问题

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国家知识产权局信息显示,上海贺东电子材料有限公司申请一项名为“一种抗等离子腐蚀涂层缺陷修复方法”的专利,公开号CN121759872A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本申请提供了一种抗等离子腐蚀涂层缺陷修复方法。该方法包括:于基体表面形成所述抗等离子腐蚀涂层;采用光致发光光谱检测技术检测该涂层的缺陷,并对缺陷种类及缺陷大小进行分类标记;基于检测到的缺陷种类及缺陷大小,采用激光对各缺陷位置进行定点重熔,修复缺陷。通过本申请提供的抗等离子腐蚀涂层缺陷修复方法能够解决由涂层缺陷导致刻蚀制程工艺稳定性差的一系列问题。

天眼查资料显示,上海贺东电子材料有限公司,成立于2021年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本11240万人民币。通过天眼查大数据分析,上海贺东电子材料有限公司参与招投标项目1次,专利信息34条,此外企业还拥有行政许可8个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员

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