广东
在SEMICON China 2026现场，一组模拟装载千万级晶圆的磁驱“天车”，于空中轨道上流畅行进、轻盈往返，吸引众多观众驻足围观，成为展会极具辨识度的靓丽风景线之一……
全球半导体产业盛会——SEMICON China 2026近日在上海启幕。展会现场，江苏道达智能科技有限公司（以下简称“道达智能”）自主研发的第二代半导体磁驱大G“腾龙”OHT（天车）亮相，现场互动热度持续攀升，彰显了行业、市场对“AMHS（自动物料搬运系统）国产替代解决方案”的迫切需求与高度认可。
道达智能董事长孙俊杰在接受记者采访时表示，此次全球首发的二代“腾龙”OHT不仅实现相较一代产品的全方位迭代升级，更打破了长期以来半导体天车领域的国际技术垄断。二代“腾龙”OHT不仅破解了半导体生产环境的洁净度难题，还精准实现亚毫米级定位，完美适配半导体超级晶圆厂的高端生产需求。
完美适配半导体超级晶圆厂
道达智能是一家为半导体产业提供智能工厂软硬一体解决方案的高新技术企业，已获得国家级专精特新“小巨人”“潜在独角兽”等称号。公司总部位于南京，服务机构覆盖上海、苏州、西安、北京、成都等城市。
相较于第一代“麒麟”OHT产品，此次全球首发的二代“腾龙”OHT实现了全方位迭代升级。总体上看，二代“腾龙”OHT集成了道达智能的三大自主核心技术，分别是非接触供电系统、直线电机及集成了算力与感知的自动驾驶控制平台。
在半导体工厂中，单颗晶圆需穿梭于上百台生产设备之间，经过数千道加工工序，最终才能诞生数百颗指甲盖大小的芯片。在运送过程中，任何细微污染或摇晃颠簸，都有可能致使晶圆受损，继而影响芯片的生产良率与品质水准。
因此，自动物料搬运系统（AMHS）就成为了半导体工厂中不可替代的高科技物流系统，而OHT（天车）就是这套系统中的核心设备。
孙俊杰表示，二代“腾龙”OHT搭载道达智能自主研发的磁悬浮无接触驱动技术，彻底摆脱传统驱动方式的局限，运输过程中实现低摩擦、低振动，从根源上破解了半导体生产环境中至关重要的洁净度难题。
另一方面，它精准实现亚毫米级定位，大幅提升物料运输的稳定性与效率，完美适配半导体超级晶圆厂的高端生产需求，用技术创新赋能产业升级。
国产替代彰显硬核实力
值得注意的是，二代“腾龙”OHT已实现关键零部件国产化率100%的突破，这成功打破了长期以来半导体天车领域的国际技术垄断。
“二代‘腾龙’OHT的核心部件，包括电柜、电机、驱动器，已实现100%国产化。”孙俊杰表示，“公司从核心零部件到系统软件进行全栈自主研发，构筑了完整的技术体系。”
记者了解到，国内12寸半导体产线的OHT市场95%以上被海外企业垄断。展望“十五五”时期，道达智能力争一、二代产品能占领国内天车市场份额的50%，对应全球市场份额约10%至15%。
业内人士表示，道达智能二代“腾龙”OHT填补了国内相关领域的技术空白，为我国半导体产业供应链自主可控、高质量发展注入强劲动力，更标志着道达智能在AMHS国产替代领域迈出了里程碑式的一步。
孙俊杰还透露，公司已在研发第三代“飞天”OHT产品，目标是实现车体与轨道的完全磁悬浮（零接触）。目前该产品仍处于原理验证阶段，计划2030年前问世。
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