上海
CINNOResearch产业资讯，延世大学物理系李妍珍教授研究团队与江原大学半导体物理系李贤福教授研究团队通过共同研究，成功攻克下一代显示材料——钙钛矿发光器件（PeLED）的真空蒸镀工艺难题。
采用真空蒸镀工艺的钙钛矿发光器件制备流程及发光效率提升原理示意图
该研究成功克服了制约大面积量产的最大障碍，即有机层工艺不稳定性问题，相关成果已发表在应用物理领域世界权威期刊《AppliedPhysics Reviews（应用物理评论）》上。
钙钛矿材料凭借远超传统发光材料的超高色纯度、宽广色域表现以及优异的发光效率，被全球显示产业普遍认为是最有希望接替OLED、成为下一代主流显示技术的核心发光材料，发展潜力巨大。从工业化生产角度来看，想要真正实现大尺寸面板的规模化、标准化量产，采用真空蒸镀这一成熟稳定的制造工艺是必不可少的核心环节。
但构成钙钛矿的有机材料受热极易挥发，导致难以实现精确的厚度与组分控制，每次制备器件性能均存在差异，一致性与稳定性极差，成为阻碍钙钛矿发光器件从实验室走向产线的最关键技术瓶颈。
为解决这一问题，研究团队提出了一项方案：在有机蒸发源中添加少量（1%）无机材料。该无机材料会在有机材料表面发生反应，形成起到“稳定锚点（KineticAnchor）”作用的稳定保护层，从而有效抑制有机材料的无序挥发。
与此同时，研究团队引入残余气体分析仪（RGA），搭建了可对真空腔室内有机气体浓度进行实时超精密监测的系统。借此实现对独特纳米结构的精准控制，使负责发光的纳米晶体均匀嵌入绝缘体基质中。
最终，电荷被有效限域于纳米晶内部，表面缺陷得到修复，器件外量子效率（EQE）从原有3.6%大幅提升至6.8%，近乎翻倍。为充分验证新工艺的可靠性与一致性，研究团队专门批量制备了80余个器件进行系统性测试，通过大量样本的统计分析，充分证明了新技术具备优异的工艺重复性与性能一致性，并完整证明了在1000尼特高亮度严苛驱动环境下，器件寿命大幅延长的机理。
共同第一作者郑娜银博士（延世大学毕业）、姜东熙博士（延世大学毕业）表示：“有机材料真空蒸镀长期以来被视为无法控制的‘黑箱’，本次研究通过融合材料热力学反应原理与超精密分析技术实现了突破。预计该工艺控制技术未来将在钙钛矿显示、太阳能电池等相关蒸镀工艺中发挥重要作用。”
延世大学李妍珍教授与江原大学李贤福教授表示：“本研究不仅实现了效率提升，更在80余个器件上实现了性能一致的‘完美再现性’，具备极高产业价值。联合研究团队结合基础物理分析能力，提出下一代光电子材料工艺革新，是一次意义重大的合作案例。
马女士 Ms. Ceres
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