广东
近日，国家自然科学基金委员会在2026中关村论坛年会开幕式上发布2025年度“中国科学十大进展”，南方科技大学深港微电子学院李携曦副教授联合研究团队成果——“创新方法实现规模化制备柔性超平金刚石薄膜”成功入选，这也是南科大成果第四次入选该榜单。
金刚石凭借超高硬度、优异载流子迁移率、高介电击穿强度、卓越热导率及宽禁带特性，被誉为“终极半导体材料”，在电子学、光子学等领域应用潜力突出。但传统制备技术难以实现大尺寸、超平整金刚石薄膜规模化生产，成为制约其产业化的关键瓶颈。
针对这一难题，香港大学褚智勤副教授、林原教授，南科大李携曦副教授，北京大学东莞光电研究院王琦研究员等组成联合团队，研发出大尺寸、超光滑、超柔性金刚石薄膜规模化制备新方法，相关成果发表于国际顶级期刊《自然》。
据了解，团队基于薄膜生长界面非对称模型，创新提出“边缘暴露剥离”方法，以“一步法”实现英寸级超薄、超平整金刚石薄膜规模化制备，将传统数十小时的制备流程缩短至数秒，大幅提升效率、降低成本。所得薄膜兼具亚纳米级粗糙度与360度弯折能力，超平整表面与现有CMOS工艺高度兼容，赋予金刚石材料传统块材不具备的柔韧性，为高品质金刚石薄膜大规模制备提供可行路径，有望加速其在下一代高性能电子器件、柔性光电子器件及量子技术等领域的产业化进程。
据悉，“中国科学十大进展”遴选活动由国家自然科学基金委员会主办，坚持“四个面向”战略导向，是展示我国基础研究年度重要成果的品牌活动。2025年度遴选经150余位专家初筛、3000余位专家实名投票等环节，从600多项基础研究进展中最终确定10项入选成果。南科大此前已有3项成果分别入选2019、2020、2023年度榜单，此次再度入选，彰显学校在基础研究领域的持续突破与创新实力。
采写：南都N视频记者 周正阳 实习生 魏珊珊
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