北京
国家知识产权局信息显示，江苏腾玺裕金属制品有限公司申请一项名为“一种蚀刻加工的多层超薄导流板”的专利，公开号CN121726303A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种蚀刻加工的多层超薄导流板，涉及半导体制造装备领域，包括上顶板和下支撑板，所述上顶板底部与所述下支撑板连接并共同构成导流空腔；所述导流空腔内从上至下依次设置有上导流板和下导流板，所述上导流板底部和所述下导流板顶部均设有多个隔板，所述上导流板和所述下导流板通过贯穿两者的连杆连接，所述隔板与所述连杆相配合，将所述上导流板与所述下导流板之间的空间分隔为若干个导流通道。本发明通过采用多层超薄导流板结构，配合可独立调节的扰流装置、柔性连接件及高度可调的下导流板，实现了对气流方向、强度和分布的多维度动态精细调控，显著提升了工艺腔内气流的均匀性与稳定性。
天眼查资料显示，江苏腾玺裕金属制品有限公司，成立于2017年，位于盐城市，是一家以从事黑色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本1500万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏腾玺裕金属制品有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目5次，专利信息34条，此外企业还拥有行政许可27个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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