北京
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国家知识产权局信息显示，奥路丝科技有限公司申请一项名为“利用圆形对准标记的对准误差测量方法及装置”的专利，公开号CN121720380A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明涉及一种利用圆形对准标记的对准误差测量方法及装置。本发明的对准误差测量方法包括：a)获取包括第一圆形对准标记和第二圆形对准标记的图像的步骤；b)将第一圆形对准标记的几何属性由圆形变更为直线，以获得第一线性对准标记的步骤；c)将第二圆形对准标记的几何属性由圆形变更为直线，以获得第二线性对准标记的步骤；d)利用第一线性对准标记，求第一圆形对准标记的第一中心与第一临时中心之间的差值，即第一差值的步骤；e)利用第二线性对准标记，求第二圆形对准标记的第二中心与第二临时中心之间的差值，即第二差值的步骤；f)基于第一临时中心、第二临时中心、第一差值及第二差值，求第一中心与第二中心之间的差值的步骤。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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