北京
国家知识产权局信息显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司申请一项名为“监控离子注入状态的测试结构及方法”的专利，公开号CN121693094A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明提供一种监控离子注入状态的测试结构及方法，测试结构包括：衬底，衬底内形成有阱区；浅沟槽隔离结构，位于衬底内以隔离出有源区；至少两条栅极，位于衬底上，且相邻栅极之间的间距由大到小变化；源漏区或轻掺杂区，位于相邻栅极之间的衬底内；两排接触插塞，位于相邻栅极之间的区域的相对两侧，且位于有源区的相对两侧且延伸至衬底内；两个金属层，分别与两排接触插塞电连接，以构成电压施加区。本发明通过量测相邻栅极之间离子注入区域两端的电阻来获取电阻与相邻栅极之间间距的对应关系，反推出制程中离子注入的开口大小以及离子注入的状态，分析出栅极尺寸与侧墙尺寸是否存在异常，从而为器件相关问题的解决提供正确的电学依据。
天眼查资料显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司，成立于2020年，位于青岛市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司共对外投资了5家企业，专利信息122条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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