天津
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（全球TMT2026年3月19日讯）自2025年完成对韩国领先化合物半导体晶圆检测企业EtaMax的收购以来，HORIBA持续推进双方技术整合。值此SEMICON China 2026召开之际，HORIBA将首次全面展示整合后的检测方案，搭载HORIBA光谱技术的EtaMax样机将于2026年下半年部署至上海嘉定厚立方（C-CUBE），让中国客户在家门口即可体验新一代检测技术。
在Lab端，HORIBA在拉曼光谱、光致发光（PL）光谱、椭圆偏振光谱等尖端分析技术领域积淀深厚，是材料研发阶段“看清本质”的关键工具；在Fab端，EtaMax的加入补齐了最关键的一环——其PL晶圆检测技术将实验室级别的光谱精度，转化为产线级的自动化量测能力，实现对量产晶圆的全方位“体检”。同时，EtaMax带来PLATO系列、MiPLATO-SiC系统、PLIMA-LED系列三大技术平台，直击不同工艺节点量产痛点。HORIBA依托其位于上海嘉定、投资超5亿人民币建成的厚立方（C-CUBE），正加速推进EtaMax技术的本土化承接。
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