北京
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国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“用于影响衬底支撑件的温度分布轮廓的可调式和不可调式热屏”的专利，公开号CN121666015A，申请日期为2020年9月。
专利摘要显示，一种用于衬底支撑件的台板的热屏包括本体和吸收‑反射‑传输区域。所述吸收‑反射‑传输区域与所述本体接触，并被配置成进行下列至少一者：影响或调整介于远端基准表面与所述台板之间的热流图案的至少一部分。所述吸收‑反射‑传输区域包括可调式方面以调整所述热流图案的所述至少一部分。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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