北京
国家知识产权局信息显示，芯慧联芯（江苏）科技有限公司申请一项名为“一种晶圆键合对准视觉系统及自动对焦方法”的专利，公开号CN121666000A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明提供一种晶圆键合对准视觉系统及自动对焦方法，涉及半导体加工技术领域，包括：相互之间通过光纤连接的近红外光源和照明系统，反射镜和分光镜，反射镜和分光镜平行设置，反射镜设置在照明系统的出光口，近红外色散显微物镜，设置于分光镜的下方；上晶圆和下晶圆，位于色散显微物镜的下方，还包括依次设置于分光镜上方的近红外管镜、分光棱镜和红外相机，还包括光谱仪和控制系统，所述控制系统包括驱动装置和控制器，驱动装置设置在近红外色散显微物镜上，所述驱动装置、光谱仪分别与控制器控制连接。本发明可以在键合过程中同时观察两个需要键合的晶圆的标记点，并且实现晶圆键合的自动对焦功能，在提高键合精度的同时提高了键合效率。
天眼查资料显示，芯慧联芯（江苏）科技有限公司，成立于2024年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，芯慧联芯（江苏）科技有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息6条，专利信息18条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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