北京
国家知识产权局信息显示，芯慧联芯（江苏）科技有限公司申请一项名为“一种晶圆键合视觉系统及晶圆键合对准方法”的专利，公开号CN121666001A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明提供一种晶圆键合视觉系统及晶圆键合对准方法，涉及半导体加工技术领域，包括：近红外光源，包括第一近红外光源和第二近红外光源，其出光口分别设置滤光片；照明系统，第一近红外光源和第二近红外光源的出光口通过光纤连接至照明系统；反射镜和分光镜，所述反射镜和分光镜平行设置，反射镜设置在照明系统的出光口；近红外色散显微物镜，设置于分光镜的下方，上晶圆和下晶圆，位于近红外色散显微物镜的下方，近红外管镜和红外相机，依次设置于分光镜的上方，使上晶圆对准标记和下晶圆对准标记上的两个聚焦点形成两个反射像后，依次经过分光镜和近红外管镜，在红外相机的视野内清晰成像。本发明能够大幅提高晶圆级键合设备的键合精度。
天眼查资料显示，芯慧联芯（江苏）科技有限公司，成立于2024年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，芯慧联芯（江苏）科技有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息6条，专利信息18条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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