国家知识产权局信息显示,江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司申请一项名为“半导体处理装置、工艺及半导体设备”的专利,公开号CN121604753A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明属于半导体加工技术领域,公开了半导体处理装置、工艺及半导体设备。半导体处理装置包括处理腔、密封盖、连接机构以及水平调节件。密封盖能够与处理腔进行对接密封;连接机构与密封盖通过连接柱上下连接,连接机构与密封盖之间通过连接柱构建有允许密封盖进行水平以及垂直移动的移动空间;水平调节件用于水平调节密封盖在水平横向或/和水平纵向的水平移动距离。因此该半导体处理装置在使用时,不仅能通过水平调节件在大范围内调节密封盖的位置,还能够在密封盖上形成移动空间,使得密封盖能够随处理腔升降过程中的位置变化而形成相应的倾斜幅度,使得密封盖与处理腔能够形成较好的密封对接,有效降低二者对接处发生漏气或者漏液的可能性。
天眼查资料显示,江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司,成立于2024年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1300万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息32条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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