荷兰半导体专家：ASML花费40年钻研光刻机，中国企业竟比ASML还狠

你敢信吗？垄断了全球高端光刻机市场的ASML，熬了四十年才坐上今天的位置。但一位荷兰本土的半导体专家坦言，咱们中国企业搞光刻机的拼劲，比当年的ASML还要狠。从零起步被全方位封锁，还能一路往前冲，不少人都好奇，咱们真能闯出自己的路吗？

很多人以为ASML天生就是行业巨头，其实真不是。1984年它才由飞利浦和ASMI凑钱成立，一开始只有几十号人，挤在埃因霍温一个漏雨的简陋厂房里。那时候全球光刻机市场是美国GCA、日本尼康佳能三分天下，根本没ASML说话的份。早期做出来的机器性能不行，没人愿意买，全靠飞利浦内部订单撑着，好几次差点倒闭。

ASML从成立到站稳脚跟，足足熬了十几年。1991年推出PAS5500系列，靠着精准对准技术，才从巨头手里抢下第一批客户。1995年上市融到的钱，一分没拿来扩张，全砸进了研发里。后来收购美国硅谷集团整出193纳米技术，拿到英特尔的供货资格，才算真正立住脚。

最熬人的就是EUV光刻机研发，从1997年立项到2013年第一台可量产机器出货，整整花了十六年。这期间光源系统反复出问题炸了上百次，德国蔡司的工程师为了磨纳米级镜片，在无尘室一待就是十几个小时，吃住都在实验室附近。四十年走下来，ASML熬倒了一堆对手，也攒出了遍布全球的供应链。

一台ASML光刻机有十万个零件，镜片来自德国蔡司，光源美国造，传感器日本供，要上百家供应商配合才行。到现在，全球7纳米以下芯片的制造光刻机，基本全被ASML包了，没它很多高端芯片都造不出来。这位荷兰专家说，ASML的成功没什么捷径，就是慢工出细活，把每一个零件都做到极致。

咱们中国企业搞光刻机，起步比ASML晚了三十多年，刚出发时候遇到的难，比当年ASML大多了。2002年上海微电子成立的时候，国内光刻机领域几乎就是一张白纸，没核心技术，没成熟供应链，连相关的人才都没几个。更头疼的是，西方直接搞技术封锁，最先进的EUV光刻机压根不卖，就连普通DUV都层层卡，核心零件买不到，技术资料查不到。

之前还有国外专家放话，说中国永远造不出高端光刻机，就算给全套图纸，也造不出合格的零件。别说外人了，国内不少人都不看好我们，觉得起步晚差距大，又被封锁，根本没机会。但咱们中国企业没认怂，越被限制越咬牙顶上去，这份狠劲不是喊口号，是真金白银砸进去，一天一天熬出来的。

为啥非得自己搞光刻机？明白人都懂，核心技术攥在别人手里，永远没有主动权。哪天人家断供，咱们整个芯片产业都得停摆，手机电脑新能源汽车一堆行业都要受影响。搞自主研发不是为了争虚名抢第一，就是为了不被别人卡脖子，自己能说了算。

荷兰专家说，ASML的成功是靠着全球供应链搭积木，整合各国的核心技术攒出来的。咱们中国企业是自己造积木，从最基础的零件开始，一步一步全靠自己啃，这种狠劲放眼全球都很少见。先说说上海微电子，刚成立的时候就是个小科研组，人不多钱也少，没盲目跟着ASML的路线跑，从成熟制程开始一点点摸经验。

2023年上海微电子推出了SSA800浸没式光刻机，能生产28纳米芯片，已经交付给中芯国际用了。现在上海微电子的设备能覆盖90纳米以上的芯片制造，国内市场份额占到90%，全球占比也有35%。ASML花了二十年才做到这个渗透率，上海微电子同样用了二十年左右，速度已经快了很多，而且零部件国产化率超过75%，不用再全靠进口。

再说华为，2019年才跨界组了光刻机研发团队，当时不少人唱衰，说华为一个做通信的，凑什么热闹，肯定搞不成。华为根本没搭理这些质疑，2023年在上海建了研发中心，砸了16.6亿美元，还请来前ASML的工程师带队，一点点逆向攻关。2025年初真的搞出了EUV原型机，虽然还没量产，但极紫外光已经能稳定运行了。

华为还找到了一条绕开EUV封锁的路线，用成熟的DUV设备结合多重曝光技术，也能造出更先进制程的芯片。在拿不到EUV的情况下，能做到这一步已经是相当大的突破了。除了这两家，国内还有几十家科研机构和企业一起参战，中科院、上海光机所这些从光源到镜片全链条攻关，完全不依赖国外的技术和零件。

我们不是不想走全球整合的路，是人家不给我们走，逼得我们只能自己造每一块积木。这种被逼出来的狠劲，就是咱们中国企业的底气。实话实说，现在咱们的光刻机和ASML确实还有差距。ASML的EUV光刻机已经能大规模量产7纳米以下的高端芯片，咱们的EUV原型机还在试产，预计要到2026年第三季度才能完成量产验证。

有人说，都还有差距，有什么可说道的？其实我们自豪的不是现在已经有多厉害，是在被全面封锁、从零起步的情况下，我们从来没放弃，一步一步扎扎实实往前追。ASML有四十年的技术积累，还有全球供应链敞开了用，我们是在别人的围堵封锁里自己摸路，每一步都走得难，却每一步都走得稳。

现在咱们光刻机领域的进步速度真的肉眼可见，EUV专利申请量三年涨了200%，光源、镜片相关的技术论文数量已经是全球第一。封装光刻机领域，国内的芯上微装半年就交付了五百台，全球市占率也到了35%。28纳米光刻机已经实现量产，能覆盖汽车、家电、5G基站这些领域的芯片需求，而28纳米本身就是全球芯片市场的常青树，占了将近三成的市场份额。

那位荷兰专家最后说，他们之前以为垄断就是技术的终点，可中国企业让他们明白，真正的竞争是让技术回归服务产业的本质。其实咱们研发光刻机，也不是为了取代ASML，就是为了打破垄断，攥住都是无数工程师一天天守在实验室熬出来的，是企业砸了真金白银一点点拼出来的。或许我们现在还没完全追上ASML，但只要一直这么死磕下去，总有一天咱们能在全球半导体领域，拿到属于自己的话语权。你们觉得咱们的光刻机多久能追上ASML？不妨留下你的看法，一起为中国科技加个油。

自己的核心技术，不再被别人卡脖子。今天说这些也不是吹咱们有多厉害，就是想告诉大家，中国科技的进步从来不是天参考资料：人民日报 中国半导体产业自主创新发展纪实

上掉下来的。