北京
国家知识产权局信息显示，南通琳莱嘉智能制造有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆多频复合超声清洗机”的专利，公开号CN121586414A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明适用于半导体晶圆技术领域，提供了一种半导体晶圆多频复合超声清洗机，包括主体组件，所述主体组件包括箱体，所述箱体的一侧设置有上下料工位；清洗组件，所述清洗组件设置为两组，该装置解决了现有超声清洗中，晶圆花篮与清洗腔内壁的安装流动间隙导致超声波形成无规则强湍流，进而对花篮边缘晶圆造成微划痕、崩边或损伤，影响晶圆后续使用可靠性的问题，该装置优化承载机构滤板通孔分布及柔性板调节结构，利用花篮正下方分散通孔形成平缓柱状流清洗晶圆；通过侧间隙对应位置密集通孔形成定向细柱状流，抑制湍流以减少边缘晶圆损伤，同时切割气泡提升空化强度与集中度，保障边缘清洗效果，提高晶圆清洗质量。
天眼查资料显示，南通琳莱嘉智能制造有限公司，成立于2023年，位于南通市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，南通琳莱嘉智能制造有限公司专利信息10条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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