证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中科飞测(688361)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种检测装置”,专利申请号为CN202323039819.2,授权日为2026年2月27日。
专利摘要:本申请实施例提供了一种检测装置,用于提升小尺寸缺陷的相对亮度,从而提升小尺寸缺陷的检测信噪比。本申请实施例中的检测装置,包括:至少一个检测模块,检测模块包括线型光源,线型光源的出射光线与待检测对象的法线之间成第一角度,第一角度包括60°至90°;沿线型光源的出射光线方向设置的转折棱镜,转折棱镜用于改变线型光源的出射光线方向,使得偏折后的线型光源的出射光线垂直于线型光源的发光面;转折棱镜的出射光线照射至待检测对象时,在待检测对象的表面形成暗场照明,使得检测装置中的成像装置根据暗场照明中待检测对象的散射信息对待检测对象中的缺陷进行检测,其中,待检测对象设置有周期性图形。
今年以来中科飞测新获得专利授权8个,较去年同期增加了60%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了2.85亿元,同比增37.79%。
通过天眼查大数据分析,深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目273次;财产线索方面有商标信息359条,专利信息1088条,著作权信息39条;此外企业还拥有行政许可40个。
数据来源:天眼查APP
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