国家知识产权局信息显示,三河建华高科有限责任公司申请一项名为“一种匀胶腔内背吹机构”的专利,公开号CN121551233A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明公开了一种匀胶腔内背吹机构,涉及晶圆匀胶领域,包括支撑板,支撑板上表面固定安装有基板,基板下方设置有吸盘升降系统,吸盘升降系统上表面输出端处安装有活动件,活动件内部顶端中部设置有支撑管,支撑管上表面固定安装有导流板,导流板上表面开设有环流槽,导流板顶端中部穿过支撑管贯通开设有导流孔,导流孔底端延伸至活动件下方处设置有一号气嘴接口,基板下方还设有收集机构,用于对产生的废液进行收集;通过“背吹气流”替代现有“背洗法”,无需使用有机溶液、额外药液管路及药液阀,减少设备成本与使用成本;同时避免废液产生,无需后续无害化处理,简化操作步骤,提升晶圆匀胶设备的整体使用效率。
天眼查资料显示,三河建华高科有限责任公司,成立于2003年,位于廊坊市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4200万人民币。通过天眼查大数据分析,三河建华高科有限责任公司参与招投标项目57次,专利信息118条,此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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