北京
国家知识产权局信息显示，苏州市华芯云睿微电子科技有限公司申请一项名为“一种MEMS麦克风及其制备方法”的专利，公开号CN121547719A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本申请涉及一种MEMS麦克风及其制备方法，其在制备的过程中，在阻挡层与振膜层之间设置了一层导热层，其能将快速退火过程中的辐射热快速横向传导，消除了振膜层上的局部热点，确保整个振膜层受热均匀，从而获得高度均匀的张应力。此外，在振膜层远离导热层的一侧还设置了绝热层，绝热层能减少振膜层在高温保持阶段向环境的热量流失，使振膜层能稳定维持在目标退火温度，确保了应力释放和转化的效果。导热层和绝热层的双重作用，使得快速退火过程中的高温被有效地“限制”在振膜层区域，从而允许在集成CMOS电路之后进行快速退火处理，打破了传统工艺顺序的限制，最终获得应力可控、均匀平坦的振膜。
天眼查资料显示，苏州市华芯云睿微电子科技有限公司，成立于2024年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本440万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州市华芯云睿微电子科技有限公司。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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