北京
国家知识产权局信息显示，山东力冠微电子装备有限公司申请一项名为“一种氮化物半导体HVPE用三层环形喷头结构”的专利，公开号CN121538729A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明提供了一种氮化物半导体HVPE用三层环形喷头结构，属于氮化物半导体HVPE设备与外延技术领域，技术方案为，一种氮化物半导体HVPE用三层环形喷头结构，包括从内到外依次嵌套且同轴设置的内环、中环和外环；内环底部设置有齿尖朝下的第一锯齿，第一锯齿的齿高为第二喷气腔喷口宽度的1/2至1.5倍，第一锯齿的齿距为第二喷气腔喷口宽度的2倍至4倍；中环底部设置有齿尖朝下的第二锯齿，第二锯齿的齿高为第二喷气腔喷口宽度的1倍至2.5倍，第二锯齿的齿距为第二喷气腔喷口宽度的1.5倍至3倍。有益效果在于，可实现在喷口处抑制湍流，确保惰性隔离气体的隔离效果，进而有效减小晶圆边缘的膜厚偏差。
天眼查资料显示，山东力冠微电子装备有限公司，成立于2013年，位于济南市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1050万人民币。通过天眼查大数据分析，山东力冠微电子装备有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目83次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息61条，此外企业还拥有行政许可10个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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