北京
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国家知识产权局信息显示，马森科技股份有限公司申请一项名为“晶圆传输装置”的专利，公开号CN121548241A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，一种晶圆传输装置供承载一晶圆，包括有一本体以及三应变感测组件，所述本体具有相连接的一柄部及一承载部，所述承载部供承载所述晶圆，所述承载部具有二牙叉，所述二牙叉彼此间隔设置，所述本体具有相背对的一第一面及一第二面；所述三应变感测组件分别设置于所述二牙叉及所述柄部处，各所述应变感测组件包含二应变感测元件，各所述应变感测组件的所述二应变感测元件分别对称设置于所述第一面及所述第二面。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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