中国造不出光刻机？中科大副院长：美国造不出，中国永远都不可能

2024年9月，中科大前副院长朱士尧的一句话直接炸了全网——“美国造不出，中国永远都不可能”。当时中美半导体博弈正热，美国封锁先进光刻机、卡中国芯片脖子，全国上下都盼着国产突破，这话一出来，评论区瞬间吵翻：有人骂他“唱衰中国”，有人说他“老糊涂了”。可这位在科技圈摸爬滚打几十年、退休还被华为返聘十年的老专家，为啥突然说这话？

朱士尧1944年生在上海嘉定，1963年考进中科大核反应堆工程专业，毕业后就在中科大教书搞研究，后来还当了研究生院副院长。61岁退休后被华为拉回去，一干就是十年，直到2014年底才真正歇下来。他这辈子亲眼见中国科技从落后到追赶，早年被卡脖子的滋味比谁都清楚；在华为那十年，更是看着华为做大，也看着它被美国制裁断供的难。

说白了，光刻机就是造芯片的核心家伙，手机、电脑、汽车里的芯片，尤其是高端的，离了它根本玩不转。现在全世界最牛的光刻机，是荷兰阿斯麦做的，高端机型基本被它垄断，一台卖几十亿，排队好几年还不一定能拿到货。

有人就问了，美国科技那么牛，咋造不出光刻机？朱士尧说的“美国造不出”真不是瞎话——光刻机就像个巨型拼图，得几十个国家凑零件才能拼起来，单靠一个国家根本搞不定。你看阿斯麦的高端光刻机，自己只做不到10%的核心技术，剩下90%的零件得靠全球5000多家供应商。比如核心光源最早是美国公司的，但主脉冲激光得靠德国一家公司；光学镜子平整度误差不能超0.1纳米，全世界只有德国蔡司能造；光刻胶这种超高纯材料，主要靠日本产，美国自己也得买。

早年美国也有光刻机公司，曾经挺厉害的，后来被日本公司挤压，加上研发成本太高，要么破产要么卖了业务，现在美国本土根本没有能造完整光刻机的企业。它能设计高端芯片，但要生产还得从荷兰买阿斯麦的机器——说白了，不是美国技术不行，是单独搞不定。

懂了这点，就明白朱士尧后半句的意思了：连美国这么牛的国家，都做不到单独造光刻机，中国科技基础不如美国，单独搞当然更难，尤其是最顶尖的那种。造光刻机不光要全球合作，研发成本高得吓人，还得几十年技术积累，不是砸钱就能追上的。阿斯麦搞高端光刻机花了20多年、几百亿欧元，找了几千个工程师，还得靠各国供应商帮忙，少了合作根本没戏。

中国在光刻机领域起步很晚，上世纪90年代造芯片的光刻机全靠进口，自己没啥研发能力。直到2002年上海微电子成立，才真正开始琢磨这事，那时候实验室条件一般，工程师们天天泡车间调试，踩了不少坑。

2019年起，美国施压荷兰不让卖高端光刻机给中国，还联合其他国家封锁技术、断供核心零件。中国也加大投入，清华搞专项实验室研发光刻机材料，上海微电子慢慢突破，造出了自己的光刻机。现在能造分辨率65纳米以上的机型，够汽车电子、消费电子的中端芯片用，本土专利超过500项，各个环节都有进步。

光刻机国产化率从2022年的40%涨到2024年的65%，镜片、掩膜板这些关键零件也优化了，不用全靠进口。上海微电子还扩产能、加快迭代，这些都是实打实的进步。但差距还是大：咱们的套刻精度约1.5纳米，阿斯麦能控制在1纳米以内，这点差距就影响高端芯片的产量和效率；而且中低端光刻机的核心零件和材料，比如高端光刻胶，还得从日本买。

网上骂朱士尧的人，其实都误解他了。他不是不爱国，一辈子都在为中国科技出力，退休了还盯着进展。他就是太懂行，清楚其中的难度，不想让大家盲目乐观——造光刻机不能急功近利，更不能指望单打独斗追上荷兰、美国。

中国从来不怕难，越被封锁越能激发潜力，越遇问题越团结。以前高铁、航天、5G、新能源，都是从追赶到并跑甚至领跑，光刻机领域也一样。只要一步一个脚印，加强国际合作，总有一天能造出自己的高端光刻机，不再被卡脖子。

参考资料：

1. 中国科学报《朱士尧：光刻机需全球协作突破》

2. 上海微电子2024年度公开报告

3. 中科大官方访谈资料