北京
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国家知识产权局信息显示，周星工程股份有限公司申请一项名为“形成钛氮化物薄膜的方法以及半导体装置”的专利，公开号CN121532536A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本公开涉及一种形成钛氮化物薄膜的方法以及半导体装置，更具体地，涉及一种用于在基板上形成钛氮化物薄膜的形成钛氮化物薄膜的方法以及半导体装置。根据本公开的实施例的形成钛氮化物薄膜的方法包括：将基板放置在处理空间中；向基板供应含钛的源气体；以及向基板供应含有氮气和氢气的反应气体，其中，依次执行供应源气体的步骤和供应反应气体的步骤，并且当供应反应气体时，在处理空间中形成等离子体。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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