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拓荆创益申请静电吸附盘专利,密封环形凸起以内的区域

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国家知识产权局信息显示,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请一项名为“一种静电吸附盘”的专利,公开号CN121496372A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,发明提供了一种静电吸附盘,包括:本体,包括一体成型的吸附区和法兰区,其中,所述吸附区中设有至少一个电极,所述法兰区环绕于所述吸附区的外围,其外表面为绝缘材质;以及聚焦环,安装于所述法兰区之上,并环绕所述吸附区,其中,所述聚焦环由绝缘材料制成,其朝向所述法兰区的表面设有至少一圈等高的环形凸起,以接触所述法兰区,并密封所述环形凸起以内的区域。

天眼查资料显示,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司,成立于2023年,位于沈阳市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司参与招投标项目26次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息479条,此外企业还拥有行政许可16个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员

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