北京
国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“屏蔽环装置、接地环装置及刻蚀设备”的专利，公开号CN121506839A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明提供了一种屏蔽环装置、接地环装置及刻蚀设备，所述屏蔽环装置包括多个环体及多个第一支撑骨，所述接地环装置包括内环、外环及多个第二支撑骨，部分所述第二支撑骨与所述第一支撑骨重叠。重叠位置的第一支撑骨包括第一固定撑及滑至少一个第一滑动撑，通过移动调节所述第一滑动撑，以减小所述第一支撑骨与所述第二支撑骨的重叠面积。重叠位置的第二支撑骨包括第二固定撑及至少一个第二滑动撑，通过移动调节所述第二滑动撑，以减小所述第二支撑骨与所述第一支撑骨的重叠面积。本发明通过减小重叠面积，可大大减少副产物在重叠位置的接地环装置下方沉积，提高了晶圆良率，减少了预防性维护频率和难度。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目192次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息974条，此外企业还拥有行政许可56个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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