北京
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国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“具有分布式净化通道、RF网和接地电极的加热器板”的专利，公开号CN121511679A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，一种基板支撑组件包括：加热器板，所述加热器板包括电介质材料；加热器电极，所述加热器电极嵌入加热器板内；一组分布式净化通道，所述组分布式净化通道在加热器板内形成，其中所述组分布式净化通道提供一组气体流动路径，以均衡来自加热器板内的气流并在加热器板下方的方向上引导气流；接地电极，所述接地电极嵌入加热器板内；以及射频(RF)网，所述射频网嵌入板内。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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