国家知识产权局信息显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“用于提高轻掺硼晶体BMD的拉晶方法及单晶硅棒”的专利,公开号CN121496554A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明提供的用于提高轻掺硼晶体BMD的拉晶方法及单晶硅棒,属于单晶硅拉晶技术领域,在预定热场进行晶棒拉制,以改变热场内的温度梯度,增加BMD成核温度的区间长度,并在拉晶过程中,调整晶转、埚转、拉速以提高晶棒内间隙氧及空位的浓度及分布均匀性,因此,本发明预先提高晶棒内间隙氧及空位的浓度及分布均匀性,以为BMD成核提供充足原料,然后再改变热场内的温度梯度,增加BMD成核温度的区间长度,以促进间隙氧与空位生成BMD,进而通过预定热场与晶转、埚转、拉速协同作用显著提高轻掺硼晶体内的BMD缺陷密度。
天眼查资料显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2015年,位于银川市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目17次,专利信息375条,此外企业还拥有行政许可25个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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