北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“预期半导体制造处理步骤的匹配网络调整”的专利，公开号CN121506837A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，在一个实施例中，公开了一种用于控制半导体制造系统的匹配网络的系统。匹配网络包括电子可变电抗元件(EVRE)，其使用不同的匹配配置来改变其总电抗。等离子体室对衬底执行过程，该过程包括处理步骤，处理步骤至少包括第一处理步骤和第二处理步骤。对于每个处理步骤，存储器存储用于执行处理步骤的指令。控制电路在连续执行该过程的每个处理步骤的同时，在预期等离子体室将从第一处理步骤转变到第二处理步骤时，基于用于执行第二处理步骤的指令将匹配配置改变为新的匹配配置。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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