洁净厂房微振控制方案

洁净厂房的微振控制是保障精密设备、仪器正常运行的关键环节，直接影响生产工艺精度与产品质量。为规范微振控制设计与实施，结合洁净厂房使用特性，制定本方案，明确各环节控制要求与技术要点。

一、洁净厂房整体微振控制设计要点
在具备微振控制需求的洁净厂房设计阶段，需将微振控制要求贯穿结构设计与设备布局全过程，重点关注以下三方面：
1. 结构设计层面，需结合微振控制标准，合理选型厂房结构，科学设置隔振缝，优化壁板与地面、顶棚的连接构造，避免结构传导振动对洁净区域造成影响，确保结构本身具备良好的抗振性能。
2. 设备布局与隔振方面，洁净室及周边辅助站房内，若存在产生强烈振动的设备及其连接管道，需优先采取主动隔振措施，从振源处削弱振动传播，降低对洁净区域的干扰。
3. 振源影响评估方面，需全面排查洁净厂房内外各类振源，分析其对洁净室内精密设备、仪器安装位置的综合振动影响，通过科学测算确定是否需要采取被动隔振措施，确保振动值符合使用要求。

二、精密设备及仪器容许振动值要求
精密设备、精密仪器仪表的容许振动值，是微振控制设计的核心依据，该数值需由生产工艺部门结合生产精度要求，联合设备制造部门共同提供，确保数值的准确性与适用性，为后续隔振设计提供可靠标准。
三、被动隔振设计必备条件
对精密设备、精密仪器仪表进行被动隔振设计前，需提前收集完善相关资料，确保设计的科学性与可行性，必备条件如下：
1. 振源影响数据：需获取周围各类振源对设备、仪器安装位置产生的综合振动数据，明确振动强度、频率等关键参数；
2. 设备基础资料：包括设备、仪器的型号、规格参数及轮廓尺寸图，为隔振装置选型提供依据；
3. 设备力学参数：需掌握设备、仪器的质量、质心位置及质量惯性矩，确保隔振系统受力均衡；
4. 安装环境资料：涵盖设备底座外轮廓、附属装置、连接管道位置，以及安装区域坑、沟、孔洞尺寸，地脚螺栓与预埋件的具体位置等；
5. 设备安装要求：明确设备、仪器的调平标准，避免振动导致设备倾斜影响运行精度；
6. 振动控制标准：即设备、仪器的容许振动值，作为隔振设计的核心控制指标；
7. 隔振装置参数：所选用或设计的隔振器、隔振装置的技术参数、外形尺寸及安装条件，确保与设备、安装环境适配。

四、被动隔振设计核心考量因素
精密设备、精密仪器仪表的被动隔振设计，需结合设备特性与洁净室环境要求，重点考虑以下内容：
1. 隔振台座刚度：需根据设备重量、振动要求，合理设计隔振台座刚度，确保台座稳定性与抗振性能；
2. 倾斜校正措施：设备、仪器运行过程中，若因质量及质心位置变化导致隔振台座倾斜，需设计相应的自动或手动校正措施，保障设备水平运行；
3. 隔振系统阻尼要求：隔振系统各向阻尼比需控制在0.15及以上，有效削弱振动传导，避免共振现象发生；
4. 洁净环境适配：所采取的隔振措施不得破坏洁净室内的气流流型，不得影响洁净度等级，确保隔振与洁净要求协同达标。

五、被动隔振措施选用要求
精密设备、精密仪器仪表的被动隔振，优先选用可自动校正倾斜的空气弹簧隔振装置，该装置可有效适应设备质心变化，保障隔振效果。同时，供应空气弹簧的气源需进行严格净化处理，避免杂质进入隔振装置，影响设备运行稳定性与隔振性能，确保隔振系统长期可靠运行。