解决“测不准”难题 上海三项晶圆级“标尺”获国家级认证

来源：中国消费网

中国消费者报上海讯（记者刘浩）近日，经上海市市场监管局审批通过，同济大学国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）（筹）在集成电路标准物质方面取得新突破，三项晶圆级标准物质获得国家二级标准物质证书，帮助解决“测不准、测不精、测不全”的产业难题。

记者了解到，标准物质被誉为“测量砝码”，是化学、生物等专业领域统一量值、开展量值传递溯源的主要载体。如食品检测、医院的化验报告、环境监测的数据，这些和人们生活息息相关的检测结果，都是靠标准物质来保证准确性。

以集成电路制造为例，它是将数以亿计的微小元器件集成在芯片上的制造体系，不仅是信息产业的基础，也是高端装备能力的重要支撑。从日常使用的手机、电脑，到汽车、航天装备等关键领域，都离不开它的赋能。若把集成电路制造比作“在纳米尺度上盖摩天大楼”，用于校准量检测设备的晶圆级标准物质就是“标尺”。

此次获证的标准物质可为CD-SEM、AFM、缺陷检测设备等集成电路量检测设备提供可靠的量值标准，有效支撑周期测量、角度测量及典型缺陷检测等应用需求。同时该标准物质可以帮助我国量检测设备企业与晶圆制造厂解决“测不准、测不精、测不全”的产业难题，对提升我国集成电路微纳检测设备的计量测试能力、完善产业计量技术体系具有重要支撑意义。

上海市市场监管局自2023年率先在全国承接国家二级标准物质审批改革试点以来，通过创新开展涵盖技术能力、原始数据、计量溯源性、生产流程合规性等全要素现场审评，积极发挥专家“技术管家”作用，推动和优化“智能审批服务”“帮办服务”“电子证书同步制发”“证书免费邮寄送达”等举措，让企业感受到上海速度和温度。

在上海市市场监管局的指导推动下，以同济大学为主体，联合张江实验室筹建的国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）（筹）于2024年起开展建设，是全国集成电路领域首批获批筹建的国家产业计量测试中心之一。围绕集成电路制造中的典型结构与缺陷，重点开展了八英寸晶圆级100nm一维光栅标准物质、八英寸晶圆级200nm二维栅格标准物质、八英寸晶圆级100nm凹陷缺陷标准物质的研制与应用研究。此次获证的三项标准物质，正是其研究取得的成果。

此外，记者获悉，2023年，上海在全国率先获得国家二级标准物质定级鉴定审批权，在浦东新区和奉贤区试点，颁发全国首张省级市场监管部门审批的国家二级标准物质定级证书。2025年7月，市场监管总局充分肯定上海改革成果，将二级标准物质改革推广复制至上海全域以及内蒙古、湖南和四川部分地区。在新修订的《标准物质管理办法》中明确，二级标准物质的审批权事权由市场监管总局下放至省级市场监管部门。

试点以来，上海颁发国家二级标准物质证书41张覆盖标准物质56项。标准物质上市进度加快进一步吸引产业上下游企业加入标准物质研发产业链，推动标准物质研制生产和产业组织方式不断创新，尤其对上海集成电路、生物制造、生命健康、先进材料等先导、重点产业有积极意义。