北京
国家知识产权局信息显示，长春智冉光电科技有限公司申请一项名为“一种深紫外双波段可变NA检测物镜及方法”的专利，公开号CN121477452A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本发明提供了一种深紫外双波段可变NA检测物镜及方法，涉及光学技术领域，检测物镜包括补偿镜组、切换镜组、固定镜组和孔径可变光阑，通过采用波长更短的深紫外波长具有更高的分辨率，沿着光轴滑动补偿镜组、切换镜组和孔径可变光阑，实现不同波段的选择，提高缺陷的检测精度与发现几率，在不同波长切换后系统无需再次对焦，操作便捷，提高了工作效率，简化设备结构，检测物镜具体较大的成像靶面，有利于提高检测精度，通过改变孔径可变光阑的孔径大小改变检测物镜的数值孔径NA，实现不同波段不同NA的多模式工作，检测物镜的应用范围更加广泛，解决了现有检测物镜存在仅能进行单波长工作、设备复杂化以及存在检测误差的技术问题。
天眼查资料显示，长春智冉光电科技有限公司，成立于2021年，位于长春市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本649.955万人民币。通过天眼查大数据分析，长春智冉光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息35条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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