北京
国家知识产权局信息显示，宜宾英发德耀科技有限公司申请一项名为“一种用于PE-背膜基体表面氨气电离预处理提效的方法”的专利，公开号CN121451157A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种PE‑背膜基体表面氨气电离预处理提效的方法，涉及背膜氮化硅沉积技术领域。针对现有PECVD法制备背膜氮化硅存在的硅片表面Si‑H键悬挂键缺陷高、氮化物界面氮含量不足、氮化硅薄膜折射率波动大等问题，本发明通过在SiOx/poly‑Si表面进行NH3等离子体预处理，利用活性氮自由基植入、原位修复Si悬挂键缺陷、形成过渡层增强应力匹配的协同作用提升钝化性能。具体工艺包括进舟、恒温加热、抽真空、检漏、氨气预处理（通入10000流量氨气，射频电源放电10000W，压力1800mtorr，时间200s）、镀膜氮化硅等步骤。实验表明，该方法可使效率提升0.10%以上，且不影响良率，能减少镀膜颗粒杂质异常，提升EL良率。
天眼查资料显示，宜宾英发德耀科技有限公司，成立于2022年，位于宜宾市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本168750万人民币。通过天眼查大数据分析，宜宾英发德耀科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目66次，专利信息116条，此外企业还拥有行政许可267个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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