北京
国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“反射板、温度控制方法、热处理腔室、热处理设备”的专利，公开号CN121443046A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本申请提供一种反射板、温度控制方法、热处理腔室、热处理设备，反射板包含至少两个加热区，每一个加热区内均设有测温装置和加热装置，测温装置和加热装置用于与控制器通信连接。本申请在进行热处理工艺时，可以通过测温装置实时测量各加热区的温度，并通过加热装置对相应的加热区进行加热，使得反射板上各加热区的温度趋于一致。由于反射板的温度分布较为均匀，因此通过热传导的方式向晶圆传导的热量也较为均匀，从而保证晶圆的温度的均匀性，提高晶圆的热处理效率。此外，由于设置了加热装置，因此反射板还具备自加热能力，可通过加热装置使反射板维持一定的温度，降低在反射板表面形成工艺涂层的几率，提高反射板的反射效率。
天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息22条，专利信息209条，此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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