北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种副产物分离收集装置、半导体工艺设备”的专利，公开号CN121428519A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请提供了一种副产物分离收集装置、半导体工艺设备，副产物分离收集装置用于分离和收集反应腔室的排气中的副产物，包括：壳体，具有引入排气的进气口和导出排气的出气口；固体收集件，设置在壳体中，并至少用于从排气中分离副产物并收集分离出的固态副产物；液体收集件，设置在壳体中，并具有液体容纳腔，且至少用于从排气中分离副产物并将分离出的液态副产物收集在液体容纳腔中。上述的副产物分离收集装置，既实现了对固态副产物的收集也实现了对液态副产物的收集，相对于现有技术中仅能够收集固态副产物的冷阱，能够显著提高对副产物的分离收集效果，使半导体工艺设备具有更加良好的工作性能。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1365次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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