北京
国家知识产权局信息显示，陕西电子芯业时代科技有限公司申请一项名为“一种六边形图形单元阵列的曝光场拼接设计及其工艺方法”的专利，公开号CN121432810A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明提供一种六边形图形单元阵列的曝光场拼接设计，所述拼接设计定义有折线边界的曝光场；所述曝光场的左边界和右边界为形状完全相同且能够互补拼接的折线边界，上边界和下边界为直线边界或是形状完全相同且能够互补拼接的折线边界；所述折线边界被配置为穿过所述六边形图形单元阵列中图形单元之间的空白区域，以避免在曝光场边界处切割图形单元；所述曝光场的六边形图形单元阵列为偶数行、偶数列。本发明还提供一种六边形图形单元阵列的曝光场拼接工艺方法，所述折线边界曝光场曝光时X方向和Y方向的光刻步进均与原矩形曝光场光刻步进相同。本发明提供的一种六边形图形单元阵列的曝光场拼接设计及其工艺方法设计简单、兼容性强、可靠性高。
天眼查资料显示，陕西电子芯业时代科技有限公司，成立于2022年，位于西安市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200000万人民币。通过天眼查大数据分析，陕西电子芯业时代科技有限公司参与招投标项目554次，专利信息28条，此外企业还拥有行政许可11个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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