北京
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国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“用于DRAM的稳健的图像到设计对准”的专利，公开号CN121420683A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，提供用于半导体应用的对准的方法及系统。一种方法包含通过分别用不同对准方法将由成像子系统产生的形成在样品上的对准目标的多个例子的图像单独对准到所述对准目标的所渲染图像来针对所述对准目标的所述多个例子确定不同对准到设计偏移。所述方法还包含识别在所述不同对准到设计偏移之间具有低于预定阈值的差异的所述多个例子。另外，所述方法包含从仅针对所述所识别的多个例子确定的所述不同对准到设计偏移确定所述对准目标的运行时间对准到设计偏移。接着，可在用成像子系统对所述样品执行的工艺中使用那个运行时间对准到设计偏移。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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