北京
国家知识产权局信息显示，上海良薇机电工程有限公司申请一项名为“用于特气设备的尾气回收再利用装置、方法及半导体工艺系统”的专利，公开号CN121401850A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于特气设备的尾气回收再利用装置、方法及半导体工艺系统，尾气回收再利用装置包括酸洗单元、碱洗单元、干燥吸附单元、缓存单元、净化单元、制冷单元、一级分离单元、分析单元和二级分离单元。其优点在于，可以对尾气中的氮气、惰性气体同时回收；当尾气中的氮气不够使用时，可以通过富集空气来增加氮气；可以降低生产成本，减少氮气外购成本；回收的氮气的纯度达到5N级别，满足使用要求。
天眼查资料显示，上海良薇机电工程有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事建筑安装业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海良薇机电工程有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息109条，此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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