国家知识产权局信息显示,青岛贝斯兰半导体科技有限公司申请一项名为“一种用于晶圆清洗的表面烘干控制方法、装置及设备”的专利,公开号CN121383610A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请提供了一种用于晶圆清洗的表面烘干控制方法、装置及设备,属于半导体制造技术领域。该方法包括响应于基于射流控制参数组下发的射流启动指令,获取在射流撞击晶圆表面的预设时间窗口内的晶圆表面多维数据;基于晶圆表面多维数据,确定晶圆表面是否存在待烘干水渍。若是,确定待烘干水渍的水渍厚度及定位网格信息,以匹配目标氮气喷嘴组并确定其对应的靶向控制参数组;基于实时采集的晶圆转角信息、定位网格信息及目标氮气喷嘴组,生成相应的氮气喷射指令,以控制目标氮气喷嘴组按靶向控制参数组执行靶向氮气喷射;根据执行靶向氮气喷射后的晶圆表面多维数据,确定相应的烘干残留检测结果,以基于烘干残留检测结果判断表面烘干是否完成。
天眼查资料显示,青岛贝斯兰半导体科技有限公司,成立于2023年,位于青岛市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1155.5555万人民币。通过天眼查大数据分析,青岛贝斯兰半导体科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息92条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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