国家知识产权局信息显示,无锡翼盟电子科技有限公司申请一项名为“一种解决MEMS流道墨水渗透腐蚀的工艺方法”的专利,公开号CN121340788A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明提供的一种解决MEMS流道墨水渗透腐蚀的工艺方法,在基于叠加工艺制作热发泡喷墨芯片的MEMS阶段制程过程中,采用HDPCVD工艺在墨水流道的侧壁上制作垂直方向TA保护层,可以有效防止墨水渗透进流道的层间间隙,进而延长芯片使用寿命;将采用PECVD制作的TA保护层从TaN电阻上方延展到所有墨水流经区域,防止墨水从顶部对芯片结构产生腐蚀,有效地延长了芯片寿命。
天眼查资料显示,无锡翼盟电子科技有限公司,成立于2019年,位于无锡市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡翼盟电子科技有限公司参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息33条,此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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