北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“用于半导工艺设备的射频系统的控制方法”的专利，公开号CN121331732A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明提供一种用于半导工艺设备的射频系统的控制方法，包括：在电源的第一输出功率下，完成阻抗匹配，获取匹配器的第一匹配状态；调节电源至第二输出功率，完成阻抗匹配，获取匹配器的第二匹配状态；比较匹配器在第一匹配状态下和第二匹配状态下的参数变化；基于比较结果，在匹配器的第一匹配状态对应的参数基础上进行参数调整，以使电源恢复为第一输出功率后，在等离子体的耦合效率下降时，馈入负载单元的功率升高。本发明的用于半导工艺设备的射频系统的控制方法，通过使匹配器对改变后的负载单元的负载阻抗进行匹配，可以通过匹配器的变化，判断出等离子体的电阻与负载阻抗的关系，从而提前将匹配器设置好，从而使系统更加稳定。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1351次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
