国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“用于半导工艺设备的射频系统的控制方法”的专利,公开号CN121331732A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本发明提供一种用于半导工艺设备的射频系统的控制方法,包括:在电源的第一输出功率下,完成阻抗匹配,获取匹配器的第一匹配状态;调节电源至第二输出功率,完成阻抗匹配,获取匹配器的第二匹配状态;比较匹配器在第一匹配状态下和第二匹配状态下的参数变化;基于比较结果,在匹配器的第一匹配状态对应的参数基础上进行参数调整,以使电源恢复为第一输出功率后,在等离子体的耦合效率下降时,馈入负载单元的功率升高。本发明的用于半导工艺设备的射频系统的控制方法,通过使匹配器对改变后的负载单元的负载阻抗进行匹配,可以通过匹配器的变化,判断出等离子体的电阻与负载阻抗的关系,从而提前将匹配器设置好,从而使系统更加稳定。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1351次,财产线索方面有商标信息68条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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