国家知识产权局信息显示,上海讯颖电子科技有限公司取得一项名为“一种光刻机晶圆衬底的对准机构”的专利,授权公告号CN223808632U,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本实用新型涉及光刻机技术领域,公开了一种光刻机晶圆衬底的对准机构,包括机体,所述机体的内部安装有工作平台,所述工作平台的后侧固定连接有安装盒,所述机体的内部后侧左端安装有第二电机,所述第二电机的输出端固定连接有转动长杆,所述转动长杆的顶部左右端均固定连接有连接绳,两个所述连接绳的相远离一侧均固定连接有夹持板,所述夹持板的底部与所述工作平台的顶部滑动连接。本实用新型中,开启第二电机,转动长杆带动连接绳拉动夹持板滑动,夹持晶圆衬底,第一齿轮与第二齿轮啮合传动,带动双向螺纹杆转动,滑动方块滑动,风扇移动散热,通过上述工序,实现散热与夹持,提高效率。
天眼查资料显示,上海讯颖电子科技有限公司,成立于2014年,位于上海市,是一家以从事道路运输业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海讯颖电子科技有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目12次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息12条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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