国家知识产权局信息显示,深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“反射板、半导体加工腔室及半导体退火工艺设备”的专利,公开号CN121335511A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本申请涉及反射板技术领域,提供了一种反射板、半导体加工腔室及半导体退火工艺设备,用于解决反射板热膨胀并发生热偏移而导致的测温通孔与高温计导光棒挤碰的问题;该反射板上设有沿平行于反射板的方向间隔的第一定位孔和第二定位孔;第一定位孔约束反射板沿第一水平方向的平移自由度,第二定位孔约束反射板沿第一水平方向和第二水平方向的平移自由度;第一定位孔和第二定位孔还共同约束反射板绕竖直方向的转动自由度;反射板上还设有至少两个测温通孔,第二定位孔设置于容纳至少两个测温通孔的面积最小的第一区域中,最小化用于精定位的第二定位孔与各个测温通孔的最大距离,显著减少热偏移量。
天眼查资料显示,深圳市新凯来工业机器有限公司,成立于2022年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目18次,财产线索方面有商标信息22条,专利信息198条,此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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