中科仪：中科院旗下真空泵龙头，70年铸就中国高精尖产业发展基石

1879年10月，爱迪生团队在历经数千次试验、测试1600多种材料后，终于制成第一个可供实用的碳丝灯泡。然而，通电后的碳丝瞬间烧断，其症结在于高温碳丝与空气中的氧气发生剧烈反应。为解决这一难题，爱迪生团队改进了当时尚属原始的真空泵，成功将玻璃泡内空气抽离。在真空环境下，碳丝最终实现了稳定发光。

此后，随着工业与科技的突飞猛进，人们发现真空环境对于许多高精尖研究而言都不可或缺，这极大地推动了真空泵技术的发展。时至今日，真空泵已成为集成电路、光伏、重大科技基础设施等领域不可替代的核心装备。而中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称“中科仪”）正是我国真空技术领域的重要企业。公司数十年如一日深耕此领域，多次打破国外技术垄断，为国家的重大科学研究提供了坚实支撑。1月16日，这家领先的真空泵供应商即将在北交所上会，携近70年的深厚技术积淀，开启资本市场新征程。

中国真空技术发展推动者，持续赋能战略新兴产业

真空技术的价值，深植于每一个高精尖产业的细微环节之中。

在集成电路制造车间，一片12英寸晶圆需经历上千道工艺，其中15个核心环节有11个依赖真空环境——光刻时需隔绝空气避免光线折射，刻蚀时需防止杂质影响线路精度，薄膜沉积时需保证涂层均匀。缺乏可靠的真空环境，芯片良率将急剧下滑，甚至导致整条产线停产。

在光伏产业，晶体生长和电池片镀膜过程中，真空环境能有效提升硅材料纯度，直接决定太阳能电池的转换效率。而在国家重大科技基础设施领域，如北京正负电子对撞机、上海同步辐射光源等“国之重器”，更是需要超高真空环境来保障粒子加速和实验的精确性。

真空泵是实现上述要求的关键设备。然而，在很长一段时间里，中国高端真空泵市场被英国Edwards、日本Ebara等海外巨头垄断。这些企业凭借数十年技术积累，曾占据国内集成电路领域主要的市场份额，不仅定价高昂，更在关键时期存在断供风险。对于中国半导体产业而言，真空泵的“卡脖子”问题，犹如汽车缺少核心发动机，再先进的生产线也难以顺畅运转。

中科仪的崛起，恰逢其时地填补了这一空白。

公开资料显示，中科仪的历史可追溯至20世纪50年代中科院下属的真空科研事业单位。自成立以来，公司始终专注于这一细分领域。1979年，中科仪成功研制出中国第一台分子束外延设备（MBE），打破了国外禁运，并先后参与北京正负电子对撞机、兰州重离子加速器等11项国家重大科技基础设施建设，并为上海同步辐射光源提供了70%以上的前端区设备。2001年，公司成功研发出用于科研领域的涡旋干式真空泵，实现了清洁真空环境，开启了干式真空泵国产化的序幕；2017年，公司承担的国家重大专项成果——干式真空泵产品取得重大突破，实现在中芯国际多条产线的批量应用，成为首个批量应用于集成电路制造工艺的国产真空获得设备制造企业。彻底打破了国外企业在该市场的垄断地位。

值得一提的是，国家集成电路产业基金作为公司重要股东，持股比例达19.73%，其战略投资不仅为公司发展提供了资金支持，更彰显了公司在集成电路核心零部件领域的行业地位与发展潜力。

中科仪亦不负所望，历经多年发展，公司已成为国内集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵企业，累计出货量超4万台（其中集成电路领域超3万台），2024年国内市占率达12.72%。尤为重要的是，公司是唯一能在14nm先进制程实现批量应用、唯一能覆盖清洁/中等/苛刻全工艺的国产厂商。

硬核实力构建壁垒，多领域验证彰显价值

基于深厚的技术积淀，中科仪形成了以干式真空泵和真空科学仪器设备为核心的产品体系。

其中，干式真空泵是公司主要的收入来源，2024年收入占比达72.44%。具体而言，中科仪干式真空泵分为L、M、H三大系列：L系列专攻清洁工艺，抽速110-1000m³/h，具有能耗低、体积小的优势；M系列面向中等工艺，突出耐腐蚀性和温度可控性；H系列则针对苛刻工艺，抽速可达600-2800m³/h，能耐受强腐蚀和高粉尘环境，广泛应用于集成电路、光伏、化合物半导体等领域。截至目前，公司已推出近四十款不同型号的干式真空泵，能够适配AMAT、LAM Research、北方华创、中微、拓荆等30余家国内外主流设备厂商的数百种机台，堪称为不同应用场景量身定制的“洁净卫士”。

公司的真空科学仪器设备主要服务于国家重大科技基础设施和前沿科学研究，客户多为高校、科研院所，2024年收入占比为16.22%。其中，MBE设备已迭代至第六代，累计交付60余台，成功打破了《瓦森纳协定》对我国的禁运限制；为上海同步辐射光源提供了32条前端区中的23条、34条光束线中的18条，技术水平达到国际先进。

这些丰硕的技术成果，源于中科仪强大的研发体系。公司源自中科院，拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三个国家级研发平台。依托于此，公司持续加大研发投入，近三年（2022-2024）研发投入分别为6,008.05万元、8,465.08万元和11,008.08万元，不断深化技术积累。截至2025年6月30日，中科仪已拥有发明专利100项，并作为主要起草方参与制定了13项真空技术相关的国家、行业及团体标准，使技术创新成为驱动企业发展的核心引擎。

此外，公司技术实力多次获得权威认可，曾先后获国家科学技术进步特等、一等、二等、三等奖共6项，中国科学院及省部级科学技术进步奖20余项，其中多项成果填补了国内技术空白。

业绩增长验证技术，优质客户奠定基础

技术的价值，最终需要通过市场表现和财务业绩来验证。中科仪持续增长的财务数据，正是技术创新与产业需求同频共振的最佳体现。

招股书显示，2022至2024年，公司营业收入从6.98亿元稳步增长至10.82亿元，复合增长率达24.51%；

同期公司扣非归母净利润从6,186.11万元增至8,787.75万元，复合增长率为19.19%。

进入2025年，公司业绩增长势头不减，前三季度营收同比增长21.93%，扣非归母净利润同比增长8.04%，在行业波动中展现出稳健的增长韧性。

这份增长背后，离不开优质客户群的广泛认可与信赖。在集成电路领域，中科仪的产品已进入国内各大主流晶圆厂，并成功通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证，实现小批量出货；在光伏领域，2023年公司对隆基绿能的销售收入达1.59亿元，占当年营业收入的18.67%，成为其核心供应商；在科研领域，中国科学院高能物理研究所、中国科学技术大学等顶尖科研机构长期选用其真空科学仪器设备。

从实验室的技术突破到产线的规模化应用，从中科院的科研项目到上市公司的业绩增长，中科仪成功完成了从技术研发到商业落地的完整闭环，让国产真空技术不仅实现了自主可控，更具备了强劲的市场竞争力。

政策市场双重驱动，募投扩产开拓空间

随着“十四五”规划圆满收官，我国经济发展在“十五五”期间迎来新的战略目标：既要大力发展新型工业化以取得高质量发展显著成效，同时必须持续推进科技自立自强，实现重点领域关键核心技术的快速突破，深化科技创新与产业创新融合，显著增强创新驱动效能。值得注意的是，“十五五”规划明确强调了集成电路、高端仪器等关键领域的核心技术攻关，而“双碳”目标则持续推动光伏产业规模扩张，这些政策导向为真空技术带来了广阔的市场前景。

从市场需求端看，近年来人工智能、自动驾驶、物联网、机器人等新兴产业蓬勃发展，对算力、存储、传感器的需求激增，有力推动了集成电路产业的持续向好。根据SEMI统计数据，全球晶圆厂设备销售额近年来保持增长态势，2024年达到创纪录的1,042.7亿美元，预计2025年将增长至1,107.7亿美元。随着新晶圆厂项目启动、产能扩张及技术迭代，SEMI预计2026年销售额将跃升至1,221.0亿美元，较2025年大幅增长10.23%。

另一方面，在产业政策推动、技术持续进步和成本不断下降的共同作用下，中国光伏产业中长期发展前景依然光明。光伏年新增装机容量从2020年的48.2GW飙升至2024年的277.57GW，年均复合增长率达惊人的54.91%。中国光伏行业协会（CPIA）预计，到2030年，我国光伏新增装机容量将达到280-300GW。

在政策与市场的双轮驱动下，真空泵市场规模持续扩容。根据SEMI预计数据及测算，2024年全球集成电路领域干式真空泵市场规模约125.74亿元。中国作为全球最主要的集成电路市场之一，在政府大力支持下制造能力迅速提升。据SEMI数据测算，2024年中国大陆集成电路领域干式真空泵市场规模约52.11亿元。另据CPIA《2023-2024年中国光伏产业年度报告》及iVacuum真空聚焦测算，2024年我国光伏领域干式真空泵市场规模约47.0-57.2亿元，国产替代空间依然广阔。

面对广阔的市场机遇，中科仪已前瞻布局。本次IPO，公司拟募集资金8.25亿元，主要投向以下三个项目：

其中干式真空泵产业化建设项目达产后，公司各类干式真空泵年产能将提升至2.65万台，进一步强化生产制造优势，满足市场持续增长的需求。

高端半导体设备扩产及研发中心建设项目聚焦于H系列干式真空泵。该系列产品是集成电路设备（如刻蚀、PVD、CVD等工艺）中的重要配套设备，同时也可应用于包括光伏在内的泛半导体领域。

新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目则旨在针对半导体领域研发超高速节能泵、超高温泵等新一代干式真空泵产品；同时面向泛半导体、工业真空、仪器制造及科学研究等市场，开发大抽速干式螺杆真空泵及罗茨螺杆真空泵机组。项目完成后将极大丰富公司产品线、增强技术优势，并进一步拓展干式真空泵的应用场景和市场空间。

资本市场稀缺标的，自主可控关键力量

从中科院的实验室到半导体工厂的产线，从“两弹一星”时期的技术攻关到当下的国产替代浪潮，中科仪的历程，正是中国真空技术从无到有、从弱到强的生动缩影。

从资本市场视角审视，中科仪具备显著的稀缺性与先进性。公司不仅身处集成电路、光伏等高增长赛道，拥有稳定的优质客户群和亮眼的业绩表现，更具备清晰的募投规划与可持续的成长路径。在国产替代加速、科技自立自强的时代洪流中，其未来的成长具有高度的确定性。随着IPO进程的推进，中科仪不仅将实现自身技术价值与市场价值的同步跃升，更将为中国高端装备制造业的自主可控贡献更为坚实的力量。