北京
国家知识产权局信息显示，青岛贝斯兰半导体科技有限公司申请一项名为“一种基于旋转基座的晶圆烘干控制方法、设备及介质”的专利，公开号CN121300186A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本申请公开了一种基于旋转基座的晶圆烘干控制方法、设备及介质，涉及电数字处理技术领域，方法包括：构建扭矩平衡的晶圆烘干状态函数，并对晶圆烘干状态函数进行负载状态配置，以得到晶圆烘干状态模型；对晶圆烘干状态模型进行MPC适配优化，以确定线性离散状态的烘干空间模型；基于烘干空间模型，通过辨识数据拟合，得到旋转基座动态控制数据；根据旋转基座动态控制数据，通过控制递归预测，确定旋转基座控制预测状态；对旋转基座控制预测状态进行MCP控制优化处理，以得到晶圆烘干动态控制数据。本申请通过解决了现有技术中旋转烘干工艺中旋转基座变速控制无法适应晶圆动态变化的技术问题。
天眼查资料显示，青岛贝斯兰半导体科技有限公司，成立于2023年，位于青岛市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1155.5555万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛贝斯兰半导体科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息87条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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