中欣晶圆申请炉管污染检测相关专利，检测炉管清洗槽金属污染水平的方法

来源：新浪证券-红岸工作室

1月10日消息，国家知识产权局信息显示，杭州中欣晶圆半导体股份有限公司申请一项名为“一种分析炉管清洗槽金属污染水平的检测方法”的专利。申请公布号为CN121298370A，申请号为CN202511581737.1，申请公布日期为2026年1月9日，申请日期为2025年10月31日，发明人周桂丽、赵祥峰、戴潮、代治立、周卫宏，专利代理机构杭州九洲专利事务所有限公司，专利代理师姚旺波，分类号G01N1/28、G01N27/626。

专利摘要显示，本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及分析炉管清洗槽金属污染水平的检测方法，包括：准备实验样片和空白样片；用混酸对炉管清洗槽进行浸泡，再用UPW进行冲洗后备用；将1枚空白样片连同包装盒内胆放置在清洗槽内部台面上；将3枚实验样片连同包装盒放入清洗槽内进行UPW清洗；实验样片晾干或氮气吹干，与空白样片一起回收放入洁净出货包装盒，真空打包待测；所有实验样片和空白样片，在100级及以上无尘室内拆开包装盒，放入10级无尘内环境通风柜内待测；手摇法用萃取液回收样片表面金属；萃取液送至ICP‑MS设备进行分析，得到炉管清洗槽污染水平检测结果。

天眼查数据显示，杭州中欣晶圆半导体股份有限公司成立日期2017年9月28日，法定代表人贺贤汉，所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业，企业规模为大型，注册资本503225.6776万人民币，实缴资本503225.6776万人民币，注册地址为浙江省东垦路888号。杭州中欣晶圆半导体股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目42次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息393条，拥有行政许可22个。

杭州中欣晶圆半导体股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种分析炉管清洗槽金属污染水平的检测方法发明专利公布CN202511581737.12025-10-31CN121298370A2026-01-09周桂丽、赵祥峰、戴潮、代治立、周卫宏2基于红外线阵扫描的倒角机崩边实时检测装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511567859.52025-10-30CN121104823A2025-12-12杜书红3基于CMP工序用的研磨液添加系统及方法发明专利公布CN202511549473.12025-10-28CN121223690A2025-12-30杨石平4基于自动化监控的单面抛光机台抛头寿命管理方法发明专利公布CN202511407269.62025-09-29CN121290170A2026-01-09郭天天5硅片在减薄时产品背面污迹的清洗方法发明专利公布CN202511399762.82025-09-28CN121310868A2026-01-09方一栋、缪燃、唐鸿钦6硅片研磨设备的定盘清洁与维护方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511344562.22025-09-19CN121156902A2025-12-19王小明7CMP抛光布更换定位导向器及气泡排除辅助夹具发明专利公布CN202511296333.82025-09-11CN121179349A2025-12-23陈彬8硅片倒角机清洗槽加工后硅片背面残留水珠清理方法发明专利公布CN202511224626.52025-08-29CN121171927A2025-12-19唐鸿钦、杨自立、罗敏杰9在LPCVD制备工艺中的高稳定性石英硅舟平台结构及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511224618.02025-08-29CN121161264A2025-12-19刘文涛、李赛武10无尘室用适应多规格上料的升降式防震动工具车及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511215435.22025-08-28CN121083591A2025-12-09田飞、杨自立11改善硅片经过SP1后产生背面手臂印记的工装及方法发明专利公布CN202511143738.82025-08-15CN121171964A2025-12-19郑斌12半导体硅片检测人员智能培训与动态知识管理方法发明专利公布CN202511102792.82025-08-07CN121190261A2025-12-23董盼盼、罗敏杰13半导体硅片返抛品全流程智能管理方法及系统发明专利公布CN202511102795.12025-08-07CN121189357A2025-12-23李叶梅、罗敏杰14针对磨片机的分体式清洁系统及工艺发明专利公布CN202511050050.52025-07-29CN120755109A2025-10-10苏鹏辉15用于晶圆加工的BSD实验装置及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511050080.62025-07-29CN121004547A2025-11-25魏朋朋16硅片装载泡沫箱开箱工具及其使用方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511017736.42025-07-23CN120793342A2025-10-17杨自立、罗敏杰17一种用于硅片酸腐蚀的工艺方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510980373.82025-07-16CN121054480A2025-12-02缪燃18一种针对硅片抛光机的销环柱自动清理系统及工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202510973791.42025-07-15CN120734883A2025-10-03王方立19一种晶圆片的检测系统及方法发明专利公布CN202510973721.92025-07-15CN120992647A2025-11-21李鹏、包亚平20一种快速校准马波斯气压计的校正工具发明专利实质审查的生效、公布CN202510975826.82025-07-15CN121048825A2025-12-02石建群21一种提升12寸LTO背封膜厚均一性的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510968442.32025-07-14CN121046812A2025-12-02陈珈璐、高洪涛、何荣22一种提高双面研削机清洗部清洗效果以及效率的结构和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510961337.72025-07-14CN121054525A2025-12-02崔银昊23一种用于改善抛光片平坦度和划伤的方法发明专利公布CN202510961110.22025-07-12CN120772953A2025-10-14张文军24研磨桶颗粒聚集的改进方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510950873.72025-07-10CN120791624A2025-10-17孙贵昌25晶圆抛光机回收箱的改造挂件及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510950876.02025-07-10CN120862570A2025-10-31张亚生、孙月超26一种可视化的自动化仓库点位调整治具及操作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510930369.02025-07-07CN120622092A2025-09-12钱鹏飞27降低硅片边缘粗糙度的工艺方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510860222.92025-06-25CN120619986A2025-09-12张森阳28单晶硅快速热处理工艺的氧化诱生层错抑制方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510836649.52025-06-21CN120844203A2025-10-28王云峰、蔡来强、焦芬芬29一种降低晶圆体金属的加工工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202510823152.X2025-06-19CN120645044A2025-09-16孙若力30防止重掺气孔产品流出的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510828853.22025-06-19CN120801345A2025-10-17康海洋、吴瑶、张晨阳31一种改善硅片翘曲度的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510813030.22025-06-18CN120591749A2025-09-05焦芬芬32一种提升12寸晶圆19nm颗粒水平的清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510813029.X2025-06-18CN120600627A2025-09-05陈坚33高平坦度低缺陷密度退火片的加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510783876.62025-06-12CN120878544A2025-10-31张沛34对12寸硅片边缘抛光的研磨鼓布快速替换装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510719344.62025-05-30CN120439181A2025-08-08陈彬35一种针对lpcvd尾气无害化处理装置及工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202510719341.22025-05-30CN120679339A2025-09-23平铁卫36硅材料高平坦度CMP的加工方式发明专利实质审查的生效、公布CN202510673038.32025-05-23CN120715794A2025-09-30徐威楠37一种晶圆制备中晶圆陶瓷夹持手臂组件结构及操作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510538146.X2025-04-27CN120565487A2025-08-29方涛38针对滑移线与孪晶的鉴别分析设备及区分方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510538145.52025-04-27CN120609852A2025-09-09何珍碧39提高抛光硅片体铁检测精度的SPV前处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510479389.02025-04-16CN120413412A2025-08-01王鸣40分析氧化炉污染的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510476561.72025-04-16CN120413453A2025-08-01王烨华、康海洋41硅片抛光机结晶的清理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510425703.72025-04-07CN120116148A2025-06-10高威42改善快速热处理滑移线的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510425702.22025-04-07CN120341116A2025-07-18李媛43一种晶圆表面颗粒的清洗结构及工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202510393154.X2025-03-31CN120376456A2025-07-25王伟东44提高高电阻晶圆平坦度测试准确性的装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510393157.32025-03-31CN120417190A2025-08-01张倩45一种减少硅片平坦度测试被颗粒干扰的装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510393149.92025-03-31CN120576712A2025-09-02毛攀、郑斌、王江华46用于硅片研磨的抛光垫结构及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510290369.92025-03-12CN120326521A2025-07-18徐姜炜47硅片加工中发生碎裂的触发报警装置及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510249271.92025-03-04CN119910570A2025-05-02何航党48双面研磨后硅片表面的清洁方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510177675.12025-02-18CN120079612A2025-06-03贾俊、于洋、吴闯49晶圆缺口磨损改善改进方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510136832.42025-02-07CN119927789A2025-05-06李开勋50降低混酸消耗的酸腐蚀机辅助装置及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510136831.X2025-02-07CN120015659A2025-05-16唐鸿钦、缪燃

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