突破、整合！2025半导体前道设备重大事件全景

2025年，全球半导体产业格局深度调整，人工智能、先进存储等需求的爆发式增长，叠加地缘政治带来的供应链重构压力，为国内半导体前道设备行业创造了前所未有的发展机遇。

这一年，国产设备企业不仅在技术攻坚上实现多项里程碑式突破，更在平台化整合、资本加码与生态构建上加速发力，行业整体迈向“系统作战”，国产化进程正式驶入深水区。

据SEMI数据显示，2025年中国大陆连续第10个季度稳居全球最大半导体设备市场，第三季度销售额达145.6亿美元，占全球比重攀升至43%，其中国产设备贡献度显著提升，部分细分领域国产化率已突破30%的关键节点。

技术攻坚：先进制程突破，核心设备打破垄断

2025年是国产前道设备在先进制程领域集中“破局”的一年，以刻蚀、薄膜沉积、涂胶显影为代表的核心设备，相继实现跨越，部分产品成功跻身国际先进制程供应链。

在刻蚀设备这一核心赛道，中微公司成为年度焦点。其Primo Nanova 5nm等离子体刻蚀机于10月成功通过台积电5nm量产线工艺验证，实现0.01nm级侧壁垂直度与亚埃级刻蚀精度，良率与一致性完全对标国际顶级水平，打破了泛林半导体等国际厂商在5nm及以下节点的长期垄断。该设备搭载的量子级温控技术与高密度等离子体源，成为支撑先进制程的关键技术突破，标志着国产刻蚀设备正式进入全球高端供应链。

在光刻辅助与薄膜沉积领域，国产设备同样交出亮眼成绩单。盛美上海于9月实现重大突破，其自主研发的Ultra LITH KrF涂胶显影（Track）设备正式交付国内头部逻辑晶圆厂，填补了国产高端Track设备的空白。作为光刻工艺的核心辅助设备，Track设备的性能直接影响图形转移精度，此次交付意味着国产设备已具备与东京电子等国际巨头同台竞技的能力，为成熟制程光刻工艺自主可控奠定了基础。

拓荆科技则在3D-IC与先进封装领域发力，于SEMICON China 2025期间集中发布7款混合键合设备，覆盖3D-IC全流程，键合精度达亚微米级，良率高达99.99%，不仅斩获台积电、三星等国际巨头超120台预订单，更打开了企业第二增长曲线。

在量检测等“卡脖子”环节，国产企业也加速追赶。精测电子则于12月签订5.71亿元先进制程量检测设备合同，连续十二月累计合同额达7.73亿元，其设备成功从成熟制程切入先进制程，巩固了国内量检测龙头地位。

平台化整合提速，龙头开启“联合”

面对国际巨头的平台化竞争优势，以及国内产业链对全流程解决方案的需求，2025年国内半导体前道设备行业掀起了前所未有的并购整合浪潮。

北方华创成为平台化整合的标杆企业。全年业绩持续高增，第三季度营收达273亿元，同比增长34.1%，上半年营收161.42亿元，同比增长29.51%。业绩高增的背后，是其通过并购完善产品矩阵的战略布局——完成对芯源微的收购后，北方华创补齐了涂胶显影、清洗设备等短板，形成了覆盖刻蚀、薄膜沉积、离子注入、电镀等多环节的全流程设备供应能力。

中微公司也加速平台化转型，于12月披露收购杭州众硅控股权预案，正式切入CMP（化学机械抛光）湿法设备领域。当前国内CMP设备国产化率不足10%，被应用材料等国际巨头主导，此次收购将帮助中微公司构建“刻蚀+薄膜沉积+CMP”的核心设备矩阵，实现从“单一设备供应商”向“平台型企业”的跨越，大幅提升对晶圆厂的整体服务能力与客户黏性。

据统计，整合热度空前，全年并购事件数量显著增长，其中A股市场标的涉半导体设备及相关领域的并购案例已达165起，重大资产重组事件亦有17起，行业资源加速向龙头集中，并购规模与活跃度均创近年新高。

国资加码，新生力量接棒

2025年，资本对国内半导体前道设备行业的支持力度持续加码，尤其是国家级基金的精准投入，为企业攻克高端技术、扩大产能提供了充足的资金保障。大基金三期2000亿元注资计划重点投向设备与零部件领域，其中15%定向投入检测技术研发，单台国产设备最高补贴达30%；烁科中科信的超7亿元B轮融资由国新基金领投，思锐智能获国开制造业转型升级基金等联合领投的数亿元C轮融资，资金均聚焦于高端设备研发与规模化生产，对“卡脖子”环节的重点布局。

与此同时，国产设备企业的生态协同意识显著增强。深圳国资背景的新锐企业新凯来成为生态构建的典型代表，其在SEMICON China 2025首次亮相便发布31款前道设备，涵盖EPI、ALD、PVD、刻蚀、CVD等5款核心工艺设备，其中ALD设备成功通过中芯国际（深圳）产线验证，适配5nm及更先进制程。更值得关注的是，新凯来通过子公司构建“设备+工具+测试”生态，万里眼发布90GHz超高速示波器（全球第二），启云方推出国产EDA软件，形成了产业链上下游的协同发力，对行业技术迭代与自主可控形成“鲶鱼效应”。

国产化任重道远

尽管2025年国内半导体前道设备行业取得显著进展，但挑战依然不容忽视。一方面，高端光刻机、部分核心零部件（如真空泵、精密轴承）的进口依赖度仍高于60%，国际技术封锁的压力持续存在；另一方面，行业研发投入压力巨大，技术迭代速度加快，企业需持续投入巨额资金用于技术攻关，以跟上全球先进制程的发展步伐。

展望未来，随着AI、5G、新能源汽车等下游需求的持续拉动，以及政策支持与资本投入的持续加码，国内半导体前道设备行业仍将保持高速增长。据预测，到2030年，中国大陆半导体设备市场规模有望突破800亿美元，28nm全流程设备将实现自主可控，在第三代半导体设备领域形成全球竞争力，设备出口占比有望从当前不足5%提升至15%。

对于国产设备企业而言，未来需在三个方向持续发力：一是聚焦核心技术攻坚，尤其是EUV光刻机、高端离子注入机等“卡脖子”环节；二是深化产业链协同，构建“设备-材料-晶圆厂”的一体化研发体系；三是推进全球化布局，提升在国际市场的竞争力。

2025年的国内半导体前道设备行业，是突破与重构的一年，更是奠定未来发展根基的一年。随着国产化进程的持续深入，国产设备企业正逐步打破国际垄断，重塑全球半导体设备产业格局，为中国半导体产业的自主可控注入源源不断的核心动力。