北京
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国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“在脉冲激光沉积工具中激光入射窗的粒子污染的减少”的专利，公开号CN121285650A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，一示例提供脉冲激光沉积(PLD)工具。PLD工具包括处理室，该处理室包含激光入射窗。PLD工具还包含位于处理室内的靶保持器。PLD工具还包含位于处理室内的衬底保持器。PLD工具还包含被配置成引导激光通过激光入射窗并朝向靶保持器的激光器。PLD工具还包含位于激光入射窗与靶保持器之间的清扫气体入口，该清扫气体入口被配置成引导清扫气体的气流至激光的路径中。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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