北京
分享至
国家知识产权局信息显示，圆益IPS股份有限公司申请一项名为“等离子体源组件及基板处理装置”的专利，公开号CN121285874A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，根据本发明的一观点的等离子体源组件，包括：排气板，形成有多个排气孔；及至少一个等离子体源，结合在所述排气板上；其中，所述至少一个等离子体源包括：反应主体，包括多个主体部及多个绝缘部，所述多个主体部内部分别形成气体扩散空间，所述多个绝缘部结合于所述多个主体部之间使所述气体扩散空间相互连通，在至少一部分形成开口部；多个磁芯，分别包围所述多个主体部；多个绕组，配置成缠绕所述多个磁芯，并且从电源部接收供电，以在所述多个磁芯内感应磁力；其中，在所述多个主体部各个的至少一部分内可形成用于流动冷却介质的冷却部。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
