广东
光刻机整合、芯上微装收购上海微旗下资产
近日，上海威耀实业有限公司（威耀实业）工商变更，原股东上海微电子装备（集团）股份有限公司（上海微电子）退出，新增上海芯上微装科技股份有限公司（芯上微装）为全资股东，认缴出资2.285亿元。
上海微电子正拆分核心资产：前道光刻机归上海宇量昇，后道封装设备独立为芯上微装，上海微电子则保留极紫外（EUV）等下一代技术研发。
芯上微装是谁？
芯上微装2025年2月从上海微电子分拆成立，核心人员、技术资产均源自后者，主要股东高度相似，聚焦市场化设备；上海微电子则专注前道核心设备开发。业内人士分析，此次收购核心是整合上海微电子旗下资产，助力半导体装备核心业务产业化落地。
芯上微装产品覆盖多类封装和检测设备，2025年8月已交付500台步进光刻机，同年11月自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）完成出厂验收并发往客户。
芯上微装第500台步进光刻机成功交付威耀实业2003年由上海微电子出资设立，曾为其全资子公司，经营范围涵盖金属加工、物资销售、服务类业务等。值得注意的是，上海微电子2017年启动IPO辅导，2024年10月主动撤回，当前正处于资产拆分关键阶段，核心资产已拆分至多个板块，自身保留极紫外（EUV）等下一代技术研发。
业内认为，上海微电子此次退出是资产拆分重要布局，核心是推进“研发与产业化分离”，将成熟技术及产业化资产划转至芯上微装，剥离非主业资产关联，使芯上微装成为独立产业化平台，便于市场化运作及筹备独立IPO。截至发稿，相关方暂无回应。
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