北京
国家知识产权局信息显示，上海贺东电子材料有限公司申请一项名为“涂胶显影设备的药液检测系统及方法”的专利，公开号CN121275566A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明提供一种涂胶显影设备的药液检测系统及方法，属于半导体设备领域，该系统包括依次连接的药液供给端、第一压力调节单元、多级过滤单元、交替供液泵组、第二压力调节单元、终端过滤单元，其中，交替供液泵组包括两个交替工作的供液泵；在药液供给端的输出管路上、多级过滤单元的各过滤器的输出管路上、交替供液泵组的输出管路上、终端过滤单元的输出管路上各设置有通断阀门，通断阀门用于控制药液流向；该系统还包括颗粒检测仪和检测阀门，其中，多个通断阀门的输出端均连接至颗粒检测仪的输入端与检测阀门的输入端，检测阀门用于控制药液流经颗粒检测仪。本发明解决了现有技术中涂胶显影设备中药液颗粒度监控效果不好的问题。
天眼查资料显示，上海贺东电子材料有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本7240万人民币。通过天眼查大数据分析，上海贺东电子材料有限公司参与招投标项目1次，专利信息34条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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