国家知识产权局信息显示,应用材料以色列公司申请一项名为“使用神经网络的多晶粒缺陷检测”的专利,公开号CN121280316A,申请日期为2025年8月。
专利摘要显示,提供了一种在半导体样本中的运行时缺陷检测的系统和方法。所述方法包括:获得针对所述样本上的多个晶粒获取的多个运行时图像;按输入次序将所述多个运行时图像馈送到神经网络(NN)的多个输入通道,其中所述NN是先前在训练阶段中训练的;以及由所述NN同时地处理所述多个运行时图像,以获得多个缺陷图,每个缺陷图与相应运行时图像相对应并且指示其缺陷候选存在的概率。每个给定运行时图像使用所述多个运行时图像中的剩余图像作为目标图像的参考图像来被处理为所述目标图像,并且所述目标图像的所述缺陷图保持不变,不管所述输入次序的改变如何。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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