北京
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国家知识产权局信息显示，上海交通大学;上海斑图实业有限公司申请一项名为“基于金属辅助化学刻蚀的硅锭切割方法和系统”的专利，公开号CN121246057A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明提供了一种基于金属辅助化学刻蚀的硅锭切割方法和系统，包括：步骤1：用丙酮和去离子水对碳纤维进行超声清洗，然后用氮气吹干；步骤2：以碳纤维为载体，在所述碳纤维上沉积催化金属；步骤3：清洗硅锭并干燥；步骤4：配置用于金属辅助化学刻蚀的刻蚀液，所述刻蚀液包括氢氟酸、氧化剂和去离子水；步骤5：将硅锭固定在刻蚀槽内，向所述刻蚀槽内注入所述刻蚀液，并用沉积有催化金属的碳纤维对硅锭进行刻蚀；步骤6：在刻蚀过程中，保持所述沉积有催化金属的碳纤维与硅锭接触，以实现切割；当接触区域的硅被刻蚀后，所述沉积有催化金属的碳纤维沿着刻蚀方向推进，以继续切割。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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